装置メーカーと連携して、装置に適したデータの供給とパラメータの直接制御で、装置性能を最大限に活用します。
■ 露光装置インターフェースの開発
①設計データ（GDS/GBR/DXF）を取り込み、データの適正検査を実施します。 ②データ編集画面を確認しながら設定パラメータを指定して特殊補正を適用します。 ③露光装置に合わせたPMCファイルを出力します。
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